微型气泵的发展历史可以追溯到20世纪60年代。以下是微型气泵的发展里程碑：

1. 1960年代：最早的微型气泵主要出现在航空航天领域，用于空气和气体的输送和控制。这些气泵一般采用压力驱动或电磁驱动的方式。

2. 1970年代：随着微电子技术的发展，微型马达和微电机的研究进展，推动了微型气泵的发展。微型气泵开始采用电机驱动，具有更小的体积和更高的精度。

3. 1980年代：随着微流体技术的出现，微型气泵的发展进入了一个新阶段。微流体技术包括微流控芯片和微通道等，可以实现精确的气体控制和输送。

4. 1990年代：随着纳米技术和MEMS技术的发展，微型气泵的制造成本和尺寸进一步降低。纳米级材料的应用和微电子加工技术的进步，使得微型气泵具备更高的压力和更小的体积。

5. 2000年以后：随着3D打印技术的应用，微型气泵的制造工艺和性能得到了进一步提升。3D打印技术可以实现复杂的内部结构和定制化设计，提高了微型气泵的性能和可靠性。

目前，微型气泵广泛应用于医疗、生物科技、环境检测、通信设备等领域。