螺杆式真空泵。螺杆式真空泵属于非接触型干式泵,是20实际90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽,结构简单、紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点被广泛运用,市场对螺杆式真空泵的需求也非常迫切。
液环泵。液环泵在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域有着广阔的市场。据悉,在国外,液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%。此外,国产液环泵在价格上也有竞争优势,但关键还是要提高效率、降低能耗。
滑阀泵。笔者了解到,国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。
旋片式真空泵。旋片式真空泵是一种油封式机械真空泵,是真空技术中较为基本的真空获得设备之一。其广泛应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门,需求量巨大。
罗茨泵。罗茨泵是具有一对同步告诉旋转的鞋底型转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。
目前,我国罗茨泵市场发展快速,技术上也趋于成熟,其在航空、航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,可在国内推广和应用。
分子泵。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置。
随着技术的大幅提升,我国真空泵企业逐渐打破国外垄断,占领市场。有企业研发生产的分子泵转速每分钟可达7.2万转到9万转。
干泵。相关厂家表示,真空干泵的市场需求潜力巨大,尤其是在半导体行业中,真空干泵应用较多,且多为国外品牌,国产真空泵主要应用于化工等行业。行业人士表示,干泵企业还应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。
水环式真空泵。水环式真空泵是一种粗真空泵,开始是作为自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及视频等许多工业部门。
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